반도체 특수장비 수출 호황

반도체 주변장비 생산업체들이 최근 반도체 경기 침체에 따른 시장불황에서 벗어나기 위해 신제품 개발과 해외시장 개척을 서두르고 있다.

7일 관련업계에 따르면 이들 업체는 반도체웨이퍼 오염검사 및 메모리칩 가스누설방지장치 등 특수장비를 개발,각국에 수출하면서 매출을 올리고 있다.

셀라이트는 최근 금속이온 오염 측정장비인 ‘TIMS-2000’을 개발, 일본 반도체 업체에 80억원 상당을 수출했다. TIMS-2000은 반도체 핵심제조공정 중 오염물질을 세정하는 공정에서 나타나는 금속이온의 오염정도를 실시간으로 자동 측정해주는 검사장비이다. 이 장비는 반도체 웨이퍼에 오염물질이 발생하는 즉시 공정 진행을 중단시켜 생산손실을 막을 수 있는 기능을 갖추고 있다.

셀라이트는 이번 장비를 반도체 세정장비 웨트스테이션과 함께 핵심 수출품목으로 정하고 하반기에 미국·대만·유럽시장 중심으로 판로를 다변화할 계획이다.

KGM코리아사는 최근 일본의 반도체업체인 햐얏코사에 웨이퍼공정의 자동온도조절장치인 ‘300㎜ Asher’를 1차로 50억원어치를 공급했다. 이 회사는 또 하반기 중 추가로 50억원을 수출키로 하는 등 일본 시장 진출을 본격화 하고 있다.

한편 반도체용 가스누설방지장치 제조업체인 아토도 해외시장 개척을 통해 수출규모를 늘리고 있다. 이 회사는 자외선감지 센서가 부착된 ‘개스 캐비넷’장비를 생산, 1·4분기 중 영국·대만에 80억원 상당을 수출 했다.

아토는 특히 수출 주요 대상국가인 영국의 시장확대를 위해 현지 반도체장비업체인 BOC사와 판매제휴를 체결하기도 했다.

/[e-mail] 박찬흥기자