산업 >

풍산마이크로텍 美에 연구소 설립



풍산 관계사인 풍산마이크로텍이 실리콘밸리에 반도체 장비 연구소를 열었다.

풍산마이크로텍은 지난달 31일(이하 한국시간) 미국 캘리포니아주 샌타클래라에 반도체 열처리 장비 연구소를 설립하고 오프닝 행사를 가졌다.

풍산마이크로텍이 개발하는 장비는 실리콘 웨이퍼의 회로선폭을 미세화하는 데 필수적으로 사용되는 고유전율물질(일명 High-K)을 소자에 증착시킬 수 있도록 하는 저온 고압 수소가스 열처리로(爐)다. 이 장비는 차세대 반도체 제조공정인 45나노m 공정 기술을 사용해 트랜지스터 10억개를 집적한 S램 칩을 제조하는 데 필수적인 열처리 장비다.


풍산 관계자는 “오는 3월까지 기존 열처리로 장비를 저온 고압 열처리로 장비로 개조하고 8월까지 테스트를 거쳐 세마텍(SEMATECH)에 납품할 계획”이라며 “본격적인 매출이 발생할 오는 2007년에는 3600만달러의 매출과 1000만달러의 영업이익을 거둘 수 있을 것”이라고 전망했다.

이번에 오픈한 연구소는 140여평의 규모로 2명의 박사급 연구원과 함께 7명의 엔지니어가 중심이 되어 차세대 열처리로를 개발하게 된다. 풍산은 이 연구소를 영업소로도 운영할 계획이다.

/ jumpcut@fnnews.com 박일한기자

※ 저작권자 ⓒ 파이낸셜뉴스. 무단 전재-재배포 금지