[파이낸셜뉴스]
정부가 반도체 핵심 공정에 쓰이는 극자외선(EUV) 장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화한다. 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들이 첨단 생산라인 구축에 필요한 EUV 장비를 들여올 때 검사 등에 걸리는 기간이 기존 34일에서 9일로 줄어들 전망이다.
산업통상부는 2일 국무회의에서 이 같은 내용을 담은 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다. 개정안은 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하는 것이 핵심이다.
그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치가 포함돼 현행 법령상 '고압가스 제조설비'로 분류됐다.
이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축된다. 해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 산업부는 예상했다.
다만 정부는 규제 완화와 함께 안전성 확보 장치도 유지한다는 방침이다. EUV 장비를 '특정설비'로 지정해 3년 주기 공장심사와 종합공정검사를 실시하고, 제조사의 제조공정 및 품질 관리능력을 확인해 기존과 동등한 안전성을 확보한다는 설명이다.
산업부는 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 현장 의견을 수렴하고, 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계 간 정합성을 검토해 이번 개정안을 마련했다.
시행령과 함께 시행규칙 개정도 추진된다. 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용하는 친환경 '액화 이산화탄소 세정설비'가 국내에서 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설한다. 해당 설비는 규제샌드박스를 통해 안전성이 검증됐다.
또 위험성이 낮은 고압가스시설의 안전관리자 선임기준도 현실에 맞게 정비한다. 상업용 액화 이산화탄소 세정설비와 고압가스 저장시설 등이 대상이다.
개정안은 차주 중 공포 후 즉시 시행될 예정이다. 김정관 산업부 장관은 "이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다"고 말했다.
aber@fnnews.com 박지영 기자
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