DGIST 반도체 공정 소자클린룸 개방

학교·연구소·기업에 시설 제공해 R&D 돕기로

[파이낸셜뉴스] 대구경북과학기술원(DGIST)은 중앙기기센터가 상보형 금속산화반도체(CMOS) 제작이 가능한 반도체 공정 소자클린룸을 확대·개방한다고 12일 밝혔다. 반도체 공정 소자클린룸 시설을 갖추지 못한 학교나 연구소 등에 관련 시설을 제공해 CMOS 기반의 차세대 반도체용 연구소자 기술개발 등 다양한 연구개발(R&D)에 활용될 것으로 기대된다.

CMOS는 반도체 칩의 일종으로 집적도가 높고 소비전력이 적은 반도체로 손목시계 또는 휴대용 전자계산기 등과 같은 소형제품에서 널리 사용한다.

DGIST 중앙기기센터는 지능형반도체 연구역량을 높이고 반도체 제조 공정 활용 가치창출을 목표로 0.5㎛급 CMOS 표준공정 라인을 추가적으로 구축했다. 이를 통해 단위공정 수준이 아닌 일괄된 소자제작이 가능해져, CMOS 레벨에서 구동해야 하는 연구용 소자 테스트, CMOS 기반 반도체 신소자 및 소재개발 플렛폼 제공, CMOS 단위 웨이퍼 제공, CMOS 기반 교육서비스 지원 등 반도체 관련 연구 및 교육에 널리 활용될 예정이다.

이미 DGIST 중앙기기센터는 반도체공정 및 나노분석 지원이 가능한 수준급의 연구 플랫폼을 구축하고, 소재·소자 검증, 분석, 실증이 가능한 일괄 서비스를 제공해왔다. 특히, 6인치 기반 반도체 공정 소자클린룸을 보유 중으로, 실리콘계 반도체 공정, MEMS 및 마이크로 가공, 통신소자, 센서 및 계측시뮬레이션 등의 공정장비 및 나노·바이오분석 장비 등 총 170여 종을 구축·운영 중이다.

중앙기기센터 이봉호 센터장은 "세계 파운드리 시장 증가와 국내 산·학·연의 R&D 필요성이 증대됨에 따라 이번 CMOS 표준공정 라인 확대구축을 진행하게 됐다"며 "향후 지역기업을 포함한 여러 연구진들의 차세대 반도체분야 연구에 많은 보탬이 될 수 있을 것"이라고 말했다.

[e-mail] 김만기 기자