반도체 '슈퍼을' ASML, 韓 클러스터 착공..2400억투자

반도체 장비 글로벌 기업들, 국내 R&D 투자 기대

[파이낸셜뉴스] 네덜란드 반도체 장비 기업인 ASML이 국내에 자사 반도체 클러스터(뉴캠퍼스) 건립을 위한 첫삽을 뜬다.

ASML의 경기도 화성 뉴캠퍼스가 착공을 개시하면서 글로벌 반도체 장비 시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 상위 4대 기업이 모두 한국에 R&D센터 등의 투자를 확대하게 됐다. 국내 반도체 업계의 기술 경쟁력 확보에 큰 도움이 될 것으로 기대된다.

15일 산업통상자원부에 따르면 ASML은 16일 화성 뉴캠퍼스 기공식을 개최한다. 이날 행사에는 문동민 산업부 무역투자실장, 피터 베닝크 ASML CEO, 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 이원욱 더불어민주당 의원 등 160여명이 참석할 예정이다.

ASML은 주로 웨이퍼(반도체 원판)에 설계된 회로패턴을 그리는 노광장비를 생산하는 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업이다. 초미세 공정을 구현하기 위해 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 사실상 독점적으로 생산해 공급하고 있다.

ASML의 이번 투자로 최근 글로벌 반도체 장비 시장의 60% 이상을 차지하는 기업 4곳이 모두 한국에 투자했다. 시장조사업체 가트너에 따르면 반도체 장비 시장 점유율은 미국 어플라이드머티리얼즈가 18.6%로 1위, ASML이 18.1%로 2위다. 미국 램리서치와 일본 도쿄일렉트론은 각각 점유율 15%, 13.4%로 3, 4위를 기록하고 있다. 어플라이드머티리얼즈는 지난 9월 차세대 메모리반도체 장비 R&D센터를 신설하기로 했고, 램리서치는 4월 반도체 제조 장비 R&D 센터를 국내에 열었다. 도쿄일렉트론은 지난해 11월 반도체 제조 장비 R&D 센터를 증설하기로 발표한 바 있다.

ASML은 화성 뉴캠퍼스를 통해 심자외선(DUV)·EUV 노광장비 관련 부품 등의 재(再)제조센터와 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등을 건립한다는 계획이다. 2025년까지 총 2400억원을 투자한다.

산업부는 뉴캠퍼스의 한국 유치를 위해 2020년부터 경기도, 화성시, 코트라(KOTRA) 등과 함께 ASML과 긴밀히 협력해왔다. 지난해 11월에는 관계기관간 ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약을 체결했다. 최근에는 차세대 EUV 장비 규제 개선 방안을 발표하는 등 한국 투자에 걸림돌이 되는 규제를 지속 완화하고 있다. 문동민 실장은 지난달 ASML의 네덜란드 본사를 방문해 추가 투지 유치 협의를 논의하기도 했다.

이번 뉴캠퍼스 조성을 통해 EUV 노광장비 등 첨단장비 관련 국내 소재·부품 공급망이 한층 강화될 전망이다.

정부는 뉴캠퍼스 시설이 한국의 반도체 초강대국 달성전략 추진과 함께 한국과 네덜란드 간 첨단산업 생태계 협력 강화에 크게 기여할 것으로 보고 있다. 이에 후속 투자를 한국으로 유치하기 위해 ASML과 지속적인 협력 채널을 유지하고 필요한 지원을 다할 방침이다.

[e-mail] 김현철 기자