디아이티, 국내 수입 90% SiC 전력반도체 국산화 성공 소식에↑

[파이낸셜뉴스] 코스닥 반도체 장비 전문 제조사 디아이티가 SiC 파워반도체 음 접촉(Ohmic Contact) 저항을 낮추는 장비를 개발했다는 소식에 장중 오름세다. 국내 업체들이 수입에 약 90%를 의존하고 있어 국산화 소식에 기대감이 몰린 것으로 풀이된다.

9일 오후 2시 24분 현재 디아이티는 전 거래일 대비 7.19% 오른 6260원에 거래되고 있다.

이날 한 매체에 따르면 디아이티의 SiC Anneal 장비를 개발한 관계자는 “웨이퍼 패턴의 데미지를 최소화 하기 위해 UV 파장의 레이저를 선정했고, 웨이퍼의 가공에너지 균일도와 에너지 효율을 최적화하는데 가장 효과적인 Flat Top 광학계를 적용했다”라고 설명했다.

이어 “우리 장비는 시장의 수요에 부응해 향후 주력 제품으로 예상되는 6, 8인치 웨이퍼(Wafer)에 대응할 수 있는 Annealing 시스템을 구성하고 있다”고 덧붙였다.

최근 전기차, IT 기기, 클라우드 분야와 함께 파워반도체 시장의 급성장이 주목받고 있다.

특히 SiC 전력반도체 시장은 2025년까지 연평균 30%의 고성장이 기대되지만, 원천기술의 부족으로 국내 시장의 90% 이상은 수입에 의존하고 있다.

디아이티의 SiC 웨이퍼 Anneal 장비는 기존 대비 2배 이상 생산성을 갖도록 개발됐다. 국내 관련 장비시장을 대부분 점유하고 있는 일본 반도체 장비기업의 독점 구조를 깰 수 있을 것으로 기대를 모으고 있다.

[e-mail] 최두선 기자