부산시, 산업부 전력반도체 분야 공모 2건 동시 선정...국비 200억 확보

[파이낸셜뉴스] 부산시는 산업통상부 주관 '소재·부품·장비 기술개발 기반구축' 공모에서 부산테크노파크의 '극한·극지 산업용 화합물반도체 제조인프라 구축'과 부산대학교 산학협력단의 '탄화규소(SiC) 고효율 전력반도체 기판분석 기반조성' 등 2개 사업이 최종 선정됐다고 4일 밝혔다.

이들 기관은 올해부터 최대 4년간 연구개발을 진행한다. 과제별 사업비는 최대 100억원 규모로, 1차 연도에는 각 20억원이 지원된다.

두 사업의 동시 선정은 국내 유일 전력반도체 특화단지로 자리 잡은 부산의 경쟁력을 재차 입증한 것으로 평가된다.

시는 국비 200억원을 포함한 총 286억원을 투입, 8인치 화합물반도체 공정 인프라를 확충하고 차세대 반도체 생태계 조성에 나설 계획이다. 부산은 앞서 2023년 '제2기 소재·부품·장비 특화단지'로 지정된 데 이어 2025년 전국 우수 특화단지로 선정되며 생산·연구·인력·투자 전반에서 성과를 인정받았다.

부산테크노파크의 극한·극지 산업용 화합물 반도체 제조인프라 구축 사업은 극한 환경에서도 안정적으로 작동하는 전력반도체 생산을 위해 8인치 화합물반도체의 모든 공정 제조 플랫폼 구축을 목표로 한다. 이를 위해 SiC 화합물반도체 제조 핵심 신규 장비 8종을 우선 구축하고, 부산테크노파크의 인력과 공정 기술 데이터를 활용해 기업 표준화 공정을 확립할 계획이다.

시는 별도로 총 400억원을 투입해 2027년 8인치 SiC 전력반도체 전용 '제2 팹'을 준공하고 공정장비 14종을 추가 도입할 방침이다.

부산대 산학협력단이 주관하는 SiC 고효율 전력반도체 기판분석 기반조성 사업은 기판 결함 분석부터 설계·제조 공정 연계 검증까지 가능한 통합 분석 플랫폼 구축을 통해 고품질 전력반도체 확보를 지원하는 것이 목적이다. 부산대, 동의대, 부산테크노파크가 협력해 기판 결함 검사장비 등 핵심 장비 5종을 도입하고 첨단 분석 기반을 구축해 관련 기업을 지원할 예정이다.

[e-mail] 권병석 기자