잇단 해외 업체 인수 나선 파크시스템스 "계측장비 경쟁력 강화"

미국 로키 마운틴 나노테크놀로지 인수 마쳐
고체 백금 등 원자현미경 프로브 제조 강점
앞서 스위스 린시테크·독일 아큐리온 인수
"원자현미경 포함 계측장비 경쟁력 강화"

[파이낸셜뉴스] 파크시스템스가 유럽에 이어 미국 업체를 인수하며 원자현미경(AFM)을 포함한 계측장비 분야 경쟁력을 한층 강화했다.

6일 관련 업계에 따르면 파크시스템스는 최근 미국 로키 마운틴 나노테크놀로지 인수를 마무리했다. 미국 유타주 솔트레이크시티에 본사를 둔 로키 마운틴은 고체 백금 및 백금·이리듐 프로브 제조사다.

프로브는 반도체 등 검사 공정에 쓰이는 미세한 바늘이다.

로키 마운틴은 지난 2003년 유타대 물리학 교수이자 IBM 연구원 출신인 클레이턴 윌리엄스 박사가 설립했다. 로키 마운틴은 프로브 팁 반경이 10㎚(나노미터)에 불과한 초정밀 고체 금속 AFM 프로브를 생산하며 업계 주목을 받았다.

파크시스템스는 로키 마운틴 인수 후 기술 이전을 통해 한국에서도 프로브 제품을 생산할 수 있는 시설을 구축할 방침이다. 아울러 로키 마운틴이 운영 중인 솔트레이크시티 공장은 정상 가동을 유지할 예정이다.

앞서 파크시스템스는 지난해 초 '디지털 홀로그래픽 현미경(DHM)' 사업을 운영하는 스위스 린시테크를 인수했다. 린시테크는 지난 2003년 스위스 로잔 연방공과대학(EPFL) 연구진이 설립한 업체로 DHM 기술 상업화를 주도해왔다.

린시테크가 보유한 DHM 기술은 홀로그램을 활용해 샘플의 3차원(3D) 정보를 스캔 없이 전체 시야에서 빠르게 얻을 수 있는 혁신적인 방식이다. 기존 간섭계 기반 광학 프로파일링보다 100배 이상 빠르게 이미징 속도를 제공한다.

파크시스템스는 지난 2022년에도 독일 계측장비회사 아큐리온을 인수했다. 아큐리온은 '이미지 분광 타원계측(ISE)' 분야에서 독자적인 기술력을 보유했다. 파크시스템스가 아큐리온에 이어 린시테크, 로키 마운틴까지 인수하면서 AFM을 포함한 광학계측 분야에서 경쟁력을 한층 강화하게 됐다는 평가다.

파크시스템스 관계자는 "로키 마운틴이 보유한 고체 금속 프로브 기술은 현재 개발 중인 차세대 나노프로빙 시스템 및 파크시스템스가 보유한 첨단 전기적 측정 모드와 상호보완이 가능하다"라며 "앞으로도 계측장비 라인업을 늘리기 위한 M&A 전략을 이어갈 것"이라고 말했다.

한편 파크시스템스는 최근 상온 환경에서 초고해상도 이미징을 구현하는 고성능 AFM 제품인 'NX1'을 공개했다. NX1은 초고해상도 AFM 분야 권위자인 프란츠 기시블 교수와 협력을 통해 개발했다.

이 관계자는 "NX1은 초고진공 환경에서만 가능했던 이미징 성능을 일반 연구실에서도 구현할 수 있게 해 AFM 활용 범위를 크게 확대할 수 있을 것"이라고 덧붙였다.

[e-mail] 강경래 기자