티씨케이, 실리콘 카바이드 기판 제조방법 특허 취득
파이낸셜뉴스
2010.12.10 08:54
수정 : 2010.12.10 08:53기사원문
티씨케이는 실리콘 카바이드 기판 제조방법에 대한 국내특허를 취득했다고 10일 공시했다.
업체는 이 기술을 고순도 SiC 소재의 반도체용 전극이나 Ring제조에 활용할 예정이다.
/pio@fnnews.com 박인옥기자
※ 저작권자 ⓒ 파이낸셜뉴스, 무단전재-재배포 금지