주성엔지,플라즈마 화학기상증착장치 특허 획득
파이낸셜뉴스
2010.02.11 14:21
수정 : 2010.02.11 14:21기사원문
주성엔지니어링은 플라즈마 화학기상증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다. 회사측은 이번 특허를 태양전지 및 플랫패널디스플레이 장비 경쟁력을 강화하는 데 활용할 계획이라고 설명했다.
/jjack3@fnnews.com 조창원기자
※ 저작권자 ⓒ 파이낸셜뉴스, 무단전재-재배포 금지