주성엔지,플라즈마 화학기상증착장치 특허 획득

주성엔지니어링은 플라즈마 화학기상증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다.

회사측은 이번 특허를 태양전지 및 플랫패널디스플레이 장비 경쟁력을 강화하는 데 활용할 계획이라고 설명했다.

/[e-mail] 조창원기자