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주성엔지,플라즈마 화학기상증착장치 특허 획득

주성엔지니어링은 플라즈마 화학기상증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다. 회사측은 이번 특허를 태양전지 및 플랫패널디스플레이 장비 경쟁력을 강화하는 데 활용할 계획이라고 설명했다.

/jjack3@fnnews.com 조창원기자