"반도체 초호황 기회…창립 10주년 매출 2배 뛸 것"

임영진 저스템 대표
클린룸 습도 없애 수율 향상
현재 습도제어 솔루션 80% 점유
3세대 출시 후 상용화 테스트 중

"창립 10주년을 맞은 올해 전년보다 2배 이상 매출액 성장이 예상됩니다."

저스템 임영진 대표(사진)는 11일 "그동안 'EFEM'에 적용해온 습도제어 솔루션을 올해부터 'OHT'로 확장하면서 관련 시장이 2배 정도 커질 것"이라며 이같이 밝혔다.

모든 반도체 장비에 들어가는 산업용 공기청정기 일종인 EFEM은 장비 안에 있는 미세먼지를 제거해 반도체 수율을 향상시킨다.

반도체 클린룸 위에 설치하는 공정자동화 장비인 OHT는 반도체 웨이퍼(원판)를 담는 '풉(FOUP)'을 들어 올려 필요한 곳으로 이동하는 기능을 한다.

임 대표가 이끄는 저스템은 반도체 공정에서 습도를 제어하는 솔루션에 주력한다. 그동안 반도체를 만들 때 미세먼지가 수율에 영향을 미치기 때문에 'FFU', EFEM 등 클린룸 안에 있는 미세먼지를 없애기 위한 노력이 이뤄져 왔다.

하지만 반도체 회로선폭이 20나노미터(㎚, 10억분의 1m) 이하로 진행되면서 미세먼지뿐만 아니라 습도 역시 반도체 수율을 떨어뜨리는 원인으로 지목됐다. 임 대표는 이를 해결할 수 있는 습도제어 솔루션 아이템을 앞세워 지난 2016년 저스템을 창업했다.

저스템이 세계 최초로 공개한 1세대 습도제어 솔루션 '엔투퍼지'는 출시와 함께 국내외 유수 메모리반도체 업체들에 공급됐다. 저스템은 현재 반도체 습도제어 솔루션 시장에서 80% 이상을 점유한다.

임 대표는 "엔투퍼지가 반도체 풉 내부 습도를 종전 45%에서 5%로 낮추면서 반도체 수율을 높일 수 있었다"며 "엔투퍼지에 이어 습도를 1%까지 낮출 수 있는 2세대 습도제어 솔루션 'JFS'를 추가로 선보였다"고 말했다.

저스템은 엔투퍼지, JFS에 이어 3세대 반도체 습도제어 솔루션 'JDM'을 출시한 뒤 현재 북미 지역 메모리반도체 업체와 상용화를 위한 테스트를 진행 중이다.

임 대표는 "인공지능(AI) 시대가 열린 뒤 AI 반도체와 고대역폭메모리(HMB) 수요가 폭발적으로 늘어나고 있다"며 "이렇듯 반도체 슈퍼사이클(초호황)과 함께 습도제어 솔루션 판매량 역시 큰 폭으로 증가할 것"이라고 내다봤다.

임 대표는 반도체 습도제어 솔루션뿐 아니라 유기발광다이오드(OLED), 이차전지 장비에서도 성과를 기대한다. 특히 OLED 공정에서 수율을 떨어뜨리는 원인인 정전기를 없애는 '고진공 이오나이저 장비'에 기대를 걸고 있다.

이렇듯 늘어날 장비 수주에 적극 대응하기 위해 임 대표는 용인 반도체 클러스터에 신사옥을 건설하기로 했다.

오는 2028년까지 연건평 1만9800㎡ 규모로 신사옥을 짓는다는 방침이다. 저스템은 현재 용인 1공장과 화성 2공장을 연건평 9900㎡ 수준으로 운영 중이다.

임 대표는 "국내외 OLED 업체들로부터 고진공 이오나이저 장비 러브콜이 이어진다"며 "이차전지 산업 역시 전기자동차 '캐즘(일시적 수요정체)'에서 어느 정도 벗어나면서 롤투롤 장비 판매 역시 재개될 것"이라고 설명했다.

[e-mail] 강경래 기자