가천대 반도체 클린룸 전면 개보수…첨단장치 도입
뉴시스
2025.06.10 16:27
수정 : 2025.06.10 16:27기사원문
반도체 핵심 공정 실습교육 가능
[성남=뉴시스] 신정훈 기자 = 가천대학교가 반도체 공정교육 실습이 가능하도록 '클린룸'을 전면 개보수하고 첨단장치를 도입했다.
가천대는 10일 반도체대학 1층에서 클린룸 개소식을 가졌다. 개소식에는 이길여 총장을 비롯해 반도체대학 교수진 및 학생 등이 참석했다.
가천대는 2002년 준공한 기존 클린룸을 사업비 8억을 투입해 전면 개보수하고 10억원 규모의 신규 장비도 도입했다. 또한 식각, 증착, 평탄화 등 반도체 핵심 공정을 실습할 수 있는 RIE, ALD, 스퍼터, 포토 얼라이너, CMP, 세정기, 잉크젯 프린터 등 첨단장비가 갖춰져 산업 현장 수준의 실습 교육이 가능해졌다.
기존 225㎡ 규모였던 실습 공간도 360㎡으로 확장했다. 이를 통해 보다 많은 학부생과 대학원생들이 최신 반도체 공정 기반의 실습 교육을 받을 수 있는 환경이 마련됐다.
이길여 총장은 "이번 클린룸 개소식을 통해 실무 중심의 교육을 한층 강화해 글로벌 반도체 산업을 이끌 핵심인재를 양성, ‘반도체 하면 가천대'라고 할 수 있도록 만들겠다"고 말했다.
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