(주)실리콘테크,반도체 웨이퍼 자동화장비 국산화

반도체 웨이퍼의 결함을 신속하게 발견하고 이를 유형별로 분류해줌으로써 생산수율을 크게 높이고 원가를 절감할 수 있는 반도체 생산 전공정 자동화장비가 국산화됐다．

반도체 생산장비 벤처기업인·실리콘테크는 자체 기술에 의한 개발과 시험평가를 거친 웨이퍼 공정불량 검사장비 ‘웨이퍼뷰 210’을 이달부터 국내 반도체소자 생산업체에 납품할 계획이라고 4일 밝혔다．

와이퍼뷰 210은 그동안 육안에 의존해 오던 웨이퍼 검사를 자동화한 것으로 실시간으로 웨이퍼의 결함을 찾아내 이를 유형별로 분류하고 공정을 재조정함으로써 생산공정에서 동일한 결함발생을 예방할 수 있게 됐다고 회사측은 밝혔다．

우상엽 실리콘테크 사장은 “지금까지는 검수원들이 전자현미경을 통해 육안으로 검사함으로써 불량 웨이퍼 발견율이 상당히 떨어졌으나 이 장비는 현상을 마친 모든 웨이퍼에 대해 자동화시스템으로 전수검사를 실시하는 것이 장점이다”고 밝혔다．우 사장은 또 “이 장비를 사용할 경우 웨이퍼 라인당 연간 120억원의 원가를 절감할 수 있다”고 덧 붙였다．

이 회사는 대당 가격이 6억∼7억원에 이르는 웨이퍼뷰 210의 생산규모를 월 평균 10대로 정하고 삼성· 현대·아남· 동부 등 반도체소자 생산업체에 납품, 하반기 매출을 100억원으로 잡고 있다．[phone]

/ [e-mail] 황영민