반도체 장비업체 신바람

반도체 메모리제품과 박막액정표시장치(LCD)용 장비 수요가 폭발적으로 증가하고 있는 가운데 반도체 주변장비업체가 호황을 누리고 있다.특히 이들 업체중 ㈜코삼과 ㈜아토는 일본·독일 등 해외시장 개척에 주력,예년보다 큰폭의 매출신장을 기록하고 있다.

이들 회사가 생산하는 반도체 웨이퍼 생산공정에서 핵심역할을 하는 온습도 조절장치와 메모리칩 가스누설방지장치의 경우 수요량이 급격하게 늘어 상반기에만 2000억원 이상의 매출을 달성했다.

코삼은 최근 일본의 반도체 장비업체인 JSW㈜와 웨이퍼공정의 자동온도조절장치인 ‘300㎜ Asher’제작을 위한 기술제휴를 맺었다. 또 클린룸 장비제조업체인 ㈜KREI에 1000만엔규모를 투자,신제품 공동개발에 나서는 등 일본시장 진출에 주력하고 있다.

이 회사는 반도체 웨이퍼의 표면가공 공정에서 발생하는 열을 제어할 수 있는 자동온도조절장치인 ‘브라인 차일링’을 독일·이탈리아 등 유럽 5개국에 수출,상반기에 900억원 규모의 매출을 올렸다.

또 메모리칩의 도포공정중 감광막 균일도 유지를 위한 온습도제어장치인 ‘엔텍 7000’을 캐나다·미국에 300억원 정도 수출하는 등 반도체 주변장비를 통한 매출을 크게 늘리고 있다. 특히 일본과 기술제휴를 비롯한 신제품 공동개발을 통해 내년 상반기에는 신규매출이 400억원이상 추가 발생할 것으로 전망된다고 이 회사는 밝혔다.

또 반도체용 가스누설방지장치 제조업체인 아토도 수출규모가 급증하고 있다.

이 회사는 자외선감지 센서가 부착된 ‘개스 캐비넷’장비를 생산,상반기에 영국·대만에 450억원 상당을 수출 했다. 수출 주요 대상국가인 영국의 시장확대를 위해 지난 7월에는 현지 반도체장비업체인 BOC사와 기술협약을 체결하는 등 유럽시장 매출증대를 위해 주력하고 있다.

아토는 최근 미국 누박사와도 기술제휴를 맺어 주력제품인 개스 캐비넷의 기능보완을 위해 주력하고 있다.

/ [e-mail] 박찬흥기자