반도체 공정장비 제조업체인 주성엔지니어링(대표이사 황철주)이 자체 개발한 저압화학증착장비 (LPCVD)인 ‘EUREKA 2000’을 해외 8인치 양산라인에 수출한다.
주성엔지니어링은 2일 최근 대만의 유수 반도체 소자업체로부터 350만달러 상당의 커패시터 집적용 LPCVD 장치에 대한 구매의향서를 접수했으며 올 12월 중순 수출할 예정이라고 발표했다.
주성은 현재 반구형결정실리콘(HSG) 방식 증착 등 커패시터 관련 공정의 장비시장에서 50%의 세계점유율을 기록하고 있다.
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