LCD 유리기판 처리장치 개발…주성엔지니어링 ‘PECVD’

주성엔지니어링이 창립 10주년을 맞아 반도체·액정표시화면(LCD) 전공정 장치 신제품을 선보였다.

7일 주성엔지니어링은 경기도 광주 본사에서 황철주 대표이사 사장과 애널리스트 등이 참석한 가운데 세계 최대 면적의 LCD 유리기판(2160X2400)을 처리할 수 있는 ‘LCD용 플라즈마 화학증착 장치’(PECVD·사진)와 생산성이 향상된 ‘원자층증착장치’(ALD)를 선보였다. 드라이 에처(Dry Etch), 세그(SEG) 장치 등의 설명회도 진행했다.

PECVD는 LCD 양산라인의 핵심장치로 주성엔지니어링은 지난 2002년부터 이 제품을 공급해 왔으며 이번 신제품은 8세대 LCD 라인을 위한 전공정 장치라고 주성 측은 설명했다.

주성 관계자는 “신제품은 유리기판의 대형화에 따라 발생하는 균일도 저하, 증착 속도 저하 등의 문제를 자체의 특허 기술을 통해 개선했고 생산성도 2배 가량 향상시켰다”고 강조했다.

이와 함께 나노급 반도체 소자 설계에 적용되는 ALD는 수요 증대가 예상돼 이번에 신제품을 출시하게 됐다고 밝혔다.

ALD는 기존에 웨이퍼를 동시에 4장 처리하던 것을 5장씩 처리, 생산성을 끌어올린 제품이다.

황철주 대표이사는 “지난 10년 동안 세계 1등이 된다는 비전을 줄곧 추구해 왔다”며 “이제 기술력에서 그 발판을 마련한 만큼 회사의 신뢰성을 글로벌 수준으로 끌어올리기 위해 노력하겠다”고 말했다.

한편 주성엔지니어링은 지난해 1668억원의 매출을 올렸으며 이 중 수출은 9264억원, 내수는 7425억원이다.

/[e-mail] 김규성기자