극미세 나조구조물을 빠르게 생성할 수 있는 ‘원자힘 현미경(AFM)’ 리소그래피 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.
한양대 이해원 교수팀은 최근 나노구조물을 생성, 제어할 수 있는 초고속 AFM리소그래피 시스템 등을 개발, 해당 기술의 상용화 기반을 구축했다고 지난달 28일 밝혔다.
이번 기술은 기존의 AFM기술에 비해 10배 이상 빠른 초당 1㎝이상의 속도에서 기판 위의 원하는 위치에 정확히 나노구조물을 형성할 수 있다고 이교수팀은 설명했다.
이교수는 “기존의 AFM 리소그래피 기술은 속도가 매우 느려 상용화에 한계가 있었지만 이번에 개발한 기술은 초고속 생성이 가능한 만큼 본격적인 상용화가 가능하다”고 설명했다.
연구팀은 현재 산·학·연 공동연구를 통해 고속 AFM 리소그래피 통합시스템 연구를 수행하고 있으며, 초정밀 다중벽 탄소나노튜브AFM 탐침을 이용해 10㎚ 이하 패턴제작을 수행하고 있다.
현재 AFM시장은 2005년도 기준으로 전세계적으로 2000억원에 달하고 있으며, 2010년에는 3000억원으로 증가할 것으로 전망된다.
/ sejkim@fnnews.com 김승중기자
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