풍산，반도체사업 박차 열처리장비등 특허출원

풍산이 반도체 재료 및 장비사업에 박차를 가하고 있다.

9일 풍산에 따르면 작년말 반도체 장비사업에 진출한 계열사 풍산마이크로텍은 최근 개발한 저온·고압 열처리 장비에 대해 미국과 국내에 특허를 출원했다.

저온·고압 열처리 장비는 차세대 반도체사업을 좌우할 고유전율물질(High-K)의 열처리에 사용되는 장비로, 이미 개조장비를 완성하고 7월부터 양산장비 제작에 들어갈 예정이라고 풍산은 설명했다.

풍산마이크로텍은 또 반도체 재료인 리드프레임 생산에 사용되는 방열판(반도체 내에서 발생되는 열을 방사시키는 판) 부착장치의 특허를 취득하는 등 새로운 성장동력을 향한 연구개발 분야에 투자를 확대하고 있다.

방열판 부착장치는 기존의 생산장비를 개량해 생산 공정 및 인건비 절감효과를 거둘 수 있는 장비로 이 장비를 통해 생산되는 방열판 부착 리드프레임은 판매단가가 일반 제품의 50배 이상에 달해 향후 수지 개선과 수익성 증대에 기여할 것으로 회사측은 내다봤다.

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