엘오티베큠,진공펌프 특허 취득

엘오티베큠이 루츠와 스큐류 로터를 지닌 복합 건식 진공펌프로 특허를 취득했다고 24일 공시했다.

특허품은 진공펌프 내부 메커니즘에 관련된 것으로 스크류로터와 루츠로터가 결합되어지고 측부를 포함한 하우징으로 구성된 진공펌프에서 베어링의 위치를 하우징의 일부 단으로 제한하는 것이 특징이다.

엘오티베큠은 향후 특허를 반도체, LCD, OLED, 태양광 등 신규개발제품에 적용해 활용할 계획이라고 덧붙였다.