제일모직은 미국 캐보트 마이크로일렉트로닉스와 국내에서 진행한 반도체 웨이퍼 연마제(CMP) 특허 관련 항소심에서 승소했다고 7일 밝혔다.
이와 관련, 서울고법 민사4부는 지난해 12월 “제일모직 제품은 반도체 기판 제조기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있는 자유기술에 해당하므로 원고의 특허권을 침해했다고 할 수 없어 원고의 항소를 기각한다”고 판결했다.
반도체 웨이퍼 연마용 슬러리(Slurry)는 반도체 회로를 구성하기 위해 웨이퍼를 평탄화하는 재료로 반도체 고집적화의 핵심 소재 기술로 꼽힌다.
현재 세계 시장은 미국의 캐보트와 일본의 히타치 등이 선점하고 있으며 제일모직은 2003년에 삼성전자를 통해 시장에 진출했다.
제일모직 관계자는 “이번 항소심 승소로 현재 진행 중인 특허무효 2심 심판에서도 유리한 고지를 점하게 됐다”며 “자체 기술력을 바탕으로 향후 반도체 소재 시장에서 제품을 안정적으로 공급해 나가겠다”고 말했다.
이 소송은 캐보트가 2007년 7월 제일모직을 상대로 서울 중앙지법에 특허 침해소송을 제기하면서 시작됐다.
이에 제일모직은 특허심판원에 특허무효 소송을 제기해 2008년 8월 1심에서 특허무효 판결을 받은 후 2심을 진행 중이다.
/yscho@fnnews.com 조용성기자
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