나노종합기술원-㈜코셈, 주사전자현미경 세계최초 개발

나노종합기술원,  보유 특허 사업화 추진
대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경 상용화 성공

시편제작일체형주사전자현미경

단면시편가공기

나노종합기술원(원장 이재영)은 보유 특허의 사업화를 추진, ㈜코셈과의 협력을 통해 세계최초 대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경을 개발해 상용화에 성공했다고 4일 밝혔다.

대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경은 시편가공과 시편관찰을 일체화함으로써, 관찰을 위해 제작된 시편이 대기에 노출되었을 때 대기 물질과의 반응으로 시편이 변형되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다. 이를 통해 시편의 관찰분석에 대한 신뢰성을 높여 최근 각광받고 있는 이차전지, 유기발광다이오드 연구개발 분석에 크게 기여할 것으로 기대된다.

이번에 개발된 주사전자현미경은 대기 노출 반응에 의한 변화를 막을 수 있을 뿐 아니라 가공시 발생하는 열에 의한 시편의 변화를 방지하기 위해 냉각모듈(펠티어 소자)을 장착, 가공중 발생할 수 있는 시편의 변화를 최소화하도록 했다.

이번 주사전자현미경의 개발은 나노종합기술원이 나노기술 개발지원 뿐 아니라 보유장비를 활용한 연구장비 국산화 기술지원을 추진한 결과로 중소기업의 육성을 목표로 추진하고 있는 테스트베드 지원사업과도 맥을 같이한다.

사업화를 주도한 나노종합기술원 양준모 본부장은 "시료의 대기 노출로 발생하는 산화 및 오염의 영향으로 인한 분석의 어려움이 많아 이를 해소하고자 하나의 시스템에서 시편의 제작과 관찰이 가능하도록 개발했다"면서 "이를 통해 중소기업의 제품 확대 및 경쟁력 확보에 기여할 것으로 기대된다"고 밝혔다.


주사전자현미경의 국내 최고 수준인 ㈜코셈 이준희 대표이사는 "이번 개발로 새로운 제품을 확보했였으며, 기존 주사전자현미경의 경쟁력을 높여 세계 시장에서의 경쟁력 확보에 도움이 되었다"면서 "전량 해외로부터 수입에 의존하던 단면시편가공기도 국산화함으로써 수입대체 효과도 발생해 매출 증가에 기여할 것으로 예상한다"고 말했다.

이재영 나노종합기술원장은 "이번 장비개발은 국가인프라시설의 활용한 연구지원에서 한발 더 나아가 중소기업의 경쟁력 확보를 위해 기술원이 쏟은 땀방울의 결과"라며 "앞으로도 연구기술의 사업화를 통한 중소 장비기업의 산업 경쟁력 제고를 위해 꾸준히 노력하겠다"고 밝혔다.

이 사업화 개발은 나노융합2020사업단의 '우수연구성과 사업화 지원사업'의 지원을 받아서 2015년부터 2018년까지 3년간 진행됐다.

seokjang@fnnews.com 조석장 기자