산업 산업일반

SK하이닉스, 日 기체 불화수소 수입 허가...불산액은 국산 투입

뉴시스

입력 2019.10.02 14:29

수정 2019.10.02 14:29

삼성전자에 이어 두 번째 수입 허가 국산 액체 불화수소 생산 공정에 투입
(출처=뉴시스/NEWSIS)
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【서울=뉴시스】이종희 기자 = SK하이닉스가 최근 일본 정부로부터 수출 규제 이후 기체 불화수소에 대한 수입 허가를 받은 것으로 확인됐다.

2일 SK하이닉스 관계자는 "지난달 30일 반도체 공정에 필요한 기체 불화수소 수입을 일본 정부로부터 허가받았다"며 "아직 국내로 반입한 것은 아니다"라고 밝혔다.

앞서 일본 정부는 지난 7월 불화수소를 포함한 반도체 필수 소재 3개 품목에 대해 수출 규제를 강화하는 조치를 시행했다.

기체 불화수소는 지난 8월 삼성전자가 수출 규제 조치 이후 처음으로 수입 허가를 받은 바 있다. SK하이닉스는 삼성전자에 이어 두 번째로 수입 허가를 받았다.


다만, 기체 불화수소보다 사용량이 많은 액체 불화수소(불산액)는 수입 허가가 한 건도 나지 않았다.
이에 SK하이닉스는 일부 생산라인에 국산 불산액을 투입해 사용하고 있다.


SK하이닉스 관계자는 "국내 업체가 조달한 액체 불화수소에 대한 적합성 테스트를 마쳤다"며 "이달부터 일부 공정에 투입했다"고 말했다.

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