440억 투입해 반도체 공정장비 국산화 착수

NST, 플라즈마 융합연구단 선정… 4개 연구기관, 7개 대학 참여

플라즈마 공정장비 지능화 융합연구단

플라즈마 공정장비 지능화 융합연구단
과 제 명	반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증
주관기관 (책임자)	국가핵융합연구소(윤정식 박사, 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터장)
협동연구기관	한국표준과학연구원, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 서울대학교, 명지대학교
위탁연구기관	전북대학교, 충남대학교, 가천대학교, 한국항공대학교, 부산대학교
총 사업비(원)	연구회 지원금(A)	기관 부담금(B)	합계(A+B)
	290억	150억	440억
총 연구기간	2020. 11. 01. ~ 2026. 10. 30.

(국가과학기술연구회)

[파이낸셜뉴스] 국내 출연연구기관이 힘을 합해 세계 최고 수준의 차세대 반도체장비 핵심 원천기술을 확보하고 국산화를 위한 연구에 나선다.

국가과학기술연구회(NST)는 플라즈마 공정장비 지능화 융합연구단을 출범, 11월부터 연구를 진행한다고 13일 밝혔다. 플라즈마 융합연구단은 반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증을 최종 목표로 2026년까지 6년간 440억원이 투입된다.

NST는 올해 융합연구단 사업으로 국가핵융합연구소가 주관하는 '반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술개발 및 실증' 과제를 선정했다.

융합연구단에는 NST 소관의 국가핵융합연구소, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 한국표준과학연구원이 참여한다.

또 서울대, 부산대, 충남대, 전북대, 명지대, 가천대, 한국항공대 등 7개 대학의 반도체 장비 산업 관련 연구인력을 포함해 총 100여명이 참여한다.

융합연구단은 11월 1일부터 군산시에 위치한 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터에서 연구를 진행한다.

플라즈마 융합연구단장인 윤정식 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터장은 "반도체 제조 공정장비 지능화 기술에 대한 R&D 테스트 베드를 구축해 국산 장비의 글로벌 경쟁력을 높이고, 세계 시장 점유율을 확대해 나갈 것"이라고 밝혔다.

NST 원광연 이사장은 "반도체 장비에 대한 해외 의존도가 높은 상황에서 플라즈마 융합연구단이 국산 반도체 공정 장비의 경쟁력을 높이는 전환점이 되길 바란다"고 말했다.

이와 함께 "군산시에 설치되는 융합연구단이 지역 내 장비산업의 허브로서 지역산업혁신과 국토균형발전을 이룰 수 있도록 지원을 아끼지 않을 것"이라고 말했다.

[e-mail] 김만기 기자