국제 국제일반

"ASML, 이르면 다음주부터 中에 일부 DUV 장비 못 판다"

뉴스1

입력 2023.06.23 16:45

수정 2023.06.23 16:45

컴퓨터 회로판의 반도체칩 2022.02.25 ⓒ 로이터=뉴스1 ⓒ News1 정윤미 기자
컴퓨터 회로판의 반도체칩 2022.02.25 ⓒ 로이터=뉴스1 ⓒ News1 정윤미 기자


(서울=뉴스1) 김예슬 기자 = 네덜란드 정부가 이르면 다음주 자국 반도체 장비업체인 ASML의 심자외선(DUV) 노광장비의 중국 수출을 제한할 수 있는 조치를 발표할 것으로 예상된다. 2019년 극자외선(EUV) 노광장비를 수출하는 것을 막은 데 이은 추가 조처다.

22일(현지시간) 블룸버그통신은 이 사안에 정통한 소식통을 인용해 네덜란드 정부가 ASML의 일부 DUV 노광장비 수출을 통제하는 조처를 이르면 오는 30일 또는 다음 달 첫째 주 발표하는 것을 목표로 하고 있다고 보도했다.

네덜란드는 미국의 대(對)중 반도체 수출 통제에 합류하겠다고 밝히며 올여름까지 구체적인 방안을 내놓겠다고 언급한 바 있다.

제한 조처에는 ASML이나 중국 등이 명확하게 언급되지는 않았지만, ASML이 중국에 세 가지 모델의 선적하지 못하도록 하는 내용이 담겼다고 블룸버그는 부연했다.

소식통은 ASML의 DUV 장비 3개 모델(트윅스 캔 NXT:2000i·2050i·2100i)이 규제 목록에 포함될 것이라고 전했다.

앞서 네덜란드는 지난 2019년부터 ASML의 EUV 노광장비를 중국에 수출하지 못하도록 했다. ASML은 반도체 초미세공정에 사용되는 EUV 노광장비를 독점 공급하고 있는데, 네덜란드 정부의 수출 통제로 EUV 노광장비의 중국 반입 자체가 불가능해진 셈이다.

중국은 EUV를 들여오지 못하자 EUV보다 구형 버전인 DUV를 매입해 왔는데, 이마저도 어렵게 된 상황이다.

다만 블룸버그는 네덜란드가 이 같은 조처를 취하더라도 미국의 대중 수출 통제에는 못 미치는 수준이라고 평가했다.

바이든 행정부는 지난해 10월부터 첨단 반도체나 관련 제조장비를 중국에 수출하는 기업들에 라이선스 취득을 요구하고, 중국에 판매할 특정 반도체를 미국산 장비로 제조하기 전에 미 당국의 승인을 받도록 했다. 사실상 중국의 독자적인 첨단 반도체 생산을 막으려는 의도다.


미국의 수출 제재에 네덜란드와 일본도 동참할 것이라는 전망은 꾸준히 제기돼 왔다.

현재 세계 4대 반도체 장비업체는 미국의 어플라이머티어리얼즈와 램리서치, 일본의 도쿄일렉트론, 네덜란드의 ASML이다.
미국과 일본, 네덜란드의 동맹이 본격화한다면 중국의 반도체 장비 조달 루트는 완전히 차단될 수 있다.