시노펙스, 15나노 AF필터 세미콘코리아 첫 공개

석유민 시노펙스 R&D센터장이 15나노미터 AF필터를 들어 보이고 있다. 시노펙스 제공.

[파이낸셜뉴스] 시노펙스가 15나노미터(㎚) 불소수지필터(AF필터)를 오는 31일 서울 삼성동 코엑스에서 개막하는 세미콘코리아에 처음 공개한다.

30일 시노펙스에 따르면 AF필터는 필터 케이스와 내부 필터 전체를 PTFE 소재를 사용하며 반도체 공정에서 사용되는 불산과 황산, 질산 같은 강산과 200도 이상 고온에서 견디며 불순물을 제거하는 역할을 한다.

특히 AF필터에 사용되는 PTFE 소재는 미국 고어에서 전 세계 시장을 과점 중이며, 국내 반도체 업체들이 20나노미터 이하 필터에 대해 전량 수입에 의존하는 실정이다.

시노펙스는 AF필터에 사용되는 PTFE 소재 국산화를 위해 △2019년 국책과제로 연구·개발 착수 △2020년 ePTFE 소재 벤처기업인 프론텍 흡수합병 △2023년 3월 천안사업장에 10나노급 파일럿 시설 구축 등을 통해 글로벌 업체 수준 연구·개발 역량을 확보했다.

그 결과, 이번에 국내 최초로 15나노미터 AF필터 개발에 성공했다.

시노펙스가 개발한 AF필터는 성인 머리카락 굵기 6600분의 1인 15나노미터 기공 크기 첨단 기술을 적용했다. 필터 소재부터 외부 케이스까지 전체가 내화학성이 매우 높은 불소수지 소재로 만들었다.

석유민 시노펙스 R&D센터장은 "반도체 업계에서 최근 10~20나노미터 고성능 필터를 사용하며, 최첨단 10나노미터 이하 반도체 생산을 위해 10나노미터 필터가 필수적으로 필요하다"며 "올해 중 10나노급 AF필터를 추가로 선보일 예정"이라고 말했다.

이어 "현재 동탄사업장에 반도체 공정용 나노급 제품 전용 생산라인을 자체 개발한 설비로 구축 중"이라고 덧붙였다.

시노펙스는 내년 이후 10나노미터 이하 필터 기술 개발과 양산 적용을 동시에 진행, 현재 글로벌 필터 회사가 독점 중인 반도체 공정용 필터 시장을 대체해 나갈 계획이다.

[e-mail] 강경래 기자