"유리기판 라인업 확대" 필옵틱스, TGV 검사장비 개발

TGV 장비와 수주 시너지 기대
고해상도·고정밀 처리 차별화

필옵틱스 TGV 검사장비. 필옵틱스 제공

[파이낸셜뉴스] 필옵틱스가 '유리관통전극(TGV, Through Glass Via)' 검사장비를 개발했다고 4월 30일 밝혔다.

이번 장비는 TGV 공정이 제대로 가공됐는지 확인하는 기능을 한다. TGV는 유리기판에 미세한 구멍을 뚫는 작업이다. 이 과정에서 △가공 위치 △구멍 사이즈 △구멍 형태 △유리기판 손상 여부 등을 확인할 필요가 있다. 어느 하나라도 문제가 발생하면 수율(불량률의 반대)이 떨어질 수밖에 없다.

이번 검사장비는 △카메라 촬영 △스캔 △이미지 생성 △불량 여부 확인 등 구조로 작업이 이뤄진다. 촬영 단계 핵심은 한 번에 구멍의 상·중·하부 촬영 모두 이뤄진다는 점이다. 구멍 가공 때 고객사 요청대로 뚫렸는지 여부와 함께 상·중·하부 크기 또한 정밀하게 판단할 수 있다.

필옵틱스는 홀을 비스듬하게 촬영, 2.5차원(2.5D) 방식으로 이미지를 구현하는 기술적 차별화를 도입했다. 위에서 카메라로 촬영하는 방식은 직선으로 구멍을 촬영해 하부까지 정밀한 이미지 취득이 제한된다. 이에 유리기판을 뒤집어 다시 한 번 촬영해야 한다. 이 과정에서 시간이 추가된다.

이미지 생성에서도 고도화된 기술을 반영했다. 유리기판 한 장 내 생성되는 구멍 수는 적게는 수십만개, 많게는 2000만개에 달한다. 모든 구멍의 촬영 이미지를 생성하면 700GB(기가바이트) 수준에 이른다. 영화 한 편 용량이 1GB 안팎인 점을 감안하면, 이는 상당한 데이터다.

자연스레 데이터 처리에도 적지 않은 자원이 쓰일 수밖에 없다. 필옵틱스는 그동안 검사 관련 개발 노하우를 접목해 데이터 처리와 프로세싱 속도 향상을 통해 양산에 적합한 'AOI(Automated Optical Inspection)' 검사장비를 만들었다. 나아가 구멍의 불량 여부 등을 시각화해 자동으로 불량을 판독할 수 있도록 독자적인 노하우를 반영했다.

필옵틱스 관계자는 "2019년부터 TGV 장비 개발에 착수한 뒤 수율 판단에 있어 궁극적으로 필요한 데이터가 무엇인지 선별하는 능력도 내재화했다"며 "엄청난 양의 데이터를 처리하는데 있어 작업 효율을 큰 폭으로 끌어올리는 독자적인 빅데이터 처리 기법을 이번 검사장비에도 반영했다"고 말했다.

이어 "유리기판 내 구멍의 불량 여부·원인 등도 효과적으로 시각화하도록 장비를 설계했다"며 "오랜 연구·개발(R&D) 과정을 거쳐 만든 TGV 장비 기술력이 녹아든 검사장비"라고 덧붙였다.

필옵틱스는 이번 검사장비 추가로 유리기판 장비 라인업을 기존 4개에서 5개로 늘렸다. 앞서 △TGV △싱귤레이션 △ABF(Ajinomoto Buil-up Film) 드릴링 △DI(Direct Imaging) 노광기 등 4종을 출시한 뒤 거래처에 공급했다.

종전 TGV와의 수주 시너지도 기대된다. TGV가 유리기판 공정 내 핵심으로 꼽히는 만큼 검사장비 수요 또한 늘어날 전망이다. TGV 장비 개발 후 출하까지 마친 필옵틱스 입장에서는 TGV 검사장비 부문에서도 우위를 가져갈 수 있다.

이 관계자는 "지난해에 이어 올 들어서도 유리기판 가공 장비를 출하한 실적을 올렸다"며 "이번 검사장비는 TGV 장비와 수주 시너지를 충분히 낼 수 있을 걸로 예상한다"고 말했다.

이어 "다각화된 장비 라인업을 기반으로 유리기판 가공 장비 산업에서 확고한 지위를 굳혀 나갈 계획"이라고 덧붙였다.

[e-mail] 강경래 기자