미래산업, 차세대 HBM 테스트 솔루션 개발

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[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 반도체 후공정 장비 전문기업 미래산업은 차세대 고대역폭 메모리(HBM) 테스트 방식에 혁신을 가져올 '올인원 캐리어(All-In-One Carrier)'를 개발하고, 국내, 미국, 중국에서 특허 출원을 완료했다고 7일 밝혔다.

회사 측에 따르면 기존 HBM 테스트 운용 방식에는 웨이퍼 레벨 테스트(Probe Tester)와 다이 캐리어(Die Carrier) 방식이 있으며, 미래산업은 후자의 방식으로 샘플 제작을 진행 중이다.

올인원 캐리어는 기존 실리콘 기판 대신 차세대 소재로 주목받는 유리를 기반으로 제작된 유리기판 테스트 소켓(Glass Socket)을 채택해 HBM 다이(Die)의 정밀 접촉·안정성을 크게 향상시켰다. 이를 통해 반도체 제조 과정에서 테스트 장비 개조 만으로 적용할 수 있어 고객사의 투자 비용 절감 효과가 크며, 유지보수 측면에서도 효율성이 극대화될 것으로 회사 측은 기대했다.

최근 미래산업은 올인원 캐리어 1차 샘플을 제작해 정밀도 검증, HBM 다이 접촉 테스트를 성공적으로 완료했다.

현재 고객 검증을 위한 2차 샘플도 제작을 마치고 내부 테스트를 진행 중이라고 회사 측은 전했다.

뿐만 아니라 해당 기술과 연계된 특허에 대행국내 출원을 완료했으며, 해외 특허도 출원을 마쳤다.

미래산업 관계자는 "올인원 캐리어 기술과 연관된 신규 4세대 핸들러 '퀀텀' 개발에도 박차를 가하고 있으며, 새로운 테스트 핸들러(Test Handler)는 HBM 테스트 효율성을 더욱 높이기 위한 핵심 기술로 국내 및 해외 특허 출원도 완료된 상태"라면서 “이번 개발을 통해 초일류 글로벌 기업의 미래를 실현하기 위한 새로운 도약점이 될 것으로 기대하고 있다"고 말했다.

한편, 미래산업은 지난 2023년 에스엘에너지(현 로아앤코)의 주요종속회사인 넥스턴바이오사이언스에 인수됐다. 회사의 최대주주인 넥스턴바이오사이언스의 지분율은 32.31%다.