21일 화합물 기반 고효율 전력반도체 기술 과제 워크숍’
[파이낸셜뉴스] 부산 전력반도체 특화단지 구축을 위해 추진 중인 기술개발에 대한 각종 현안을 논의하는 총괄워크숍이 21일 오후 파크하얏트 부산 호텔에서 개최됐다.
이번 행사는 ‘E-모빌리티 전동화를 위한 화합물 기반 고효율 전력반도체 기술개발 과제 총괄 워크숍’으로, 부산테크노파크(TP) 주최로 열렸다. 부산시 전력반도체특화단지추진단과 한국산업기술기획평가원(KEIT) 및 연구개발 참여기관 등 관계자 40여명이 참석한 가운데 진행됐다.
해당 과제는 부산 기장군에 조성 중인 부산 전력반도체 특화단지 구축을 가속화하기 위해 마련됐다. 지난해 초 산업통상자원부 ‘특화단지 맞춤형 지원방안’의 연구개발(R&D) 과제로 선정돼 지난 3월까지 1년차 사업이 진행됐다.
개발 사업은 오는 2028년까지 5년간 진행되며, 원재료·소재·부품 등 주요 공정에서 국산화 기술을 개발하는 것을 목표로 하고 있다. 이를 통해 그간 수입에 의존해 왔던 화합물 전력반도체의 국내 공급망을 구축하는 것이 궁극적인 목표다.
워크숍에서 세부 과제 가운데 먼저 ‘8인치 실리콘 카바이드(SIC)·에피 장치·잉곳·웨이퍼 소재 제조기술 개발’에 대한 1년차 성과와 향후 계획 등의 발표가 진행됐다. 주관 연구기관인 주식회사 STI는 8인치 시딩 장비 등을 개발, 공동연구기관인 RIST(포항산업과학연구원)은 8인치 단결정 성장로 설계 검증 등을 수행했다.
또 ‘8인치 고신뢰성·고효율 1200V·1700V급 SiC MOSFET 기술개발’에 대한 지난 성과와 계획 발표가 이뤄졌다. 주관기관인 트리노 테크놀로지는 1200V SiC MOSFET에 대한 구조와 테스트 그룹 마스크 설계 등을 수행했으며 참여기관인 아이큐랩 등은 올해 6인치 1700V MOSFET 테스트 그룹 설계 등에 나설 예정이다.
이 밖에도 ‘전기차(EV)용 고성능 2.0kV급 질화갈륨 에피택셜(GaN EPI) 성장, 소자 기술개발’ 과제에 대한 연구 현황이 발표됐다. 주관기관인 BTOZ는 핀 다이오드 EPI 결정품질에 대한 평가를 수행해 결정성 향상에 주력했으며 공동기관인 부산대 등은 EPI 레이어별 도핑에 따른 항복전압 연구를 수행했다.
이번 워크숍을 준비한 부산TP 강효경 미래신산업단장은 “부산 전력반도체 각 과제 책임자를 중심으로 우리가 추구하고자 하는 목표에 차근차근히 접근했으면 좋겠다”며 “수행 기간 동안 아무런 문제없이 무사히 마쳐 모두들 결실을 맺길 부탁드린다”고 당부를 전했다.
lich0929@fnnews.com 변옥환 기자
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