저스템 "인공지능 활용, 반도체 과제 '습도' 잡아"

습도 1% 이하 낮추는 정밀제어시스템
습도제어 최적화·안정화
'JFS(Jet Flow Straightener)' 성능 높여
"이달 말부터 업계 공급 예정"

저스템 본사 전경. 저스템 제공

[파이낸셜뉴스] 저스템이 습도제어 장비 'JFS(Jet Flow Straightener)'에 인공지능(AI) 기술을 적용한다.

저스템은 현재 해외 유수 반도체 기업을 대상으로 공급 중인 2세대 습도제어 솔루션 JFS를 첨단 AI 기반 정밀제어시스템으로 고도화한 'AIP-JFS(AI Powerd- JFS)'를 개발했다고 11일 밝혔다.

이번 AIP-JFS는 기존 JFS 습도제어 성능을 각 생산라인 공정과 설비 등 환경에 최적화하도록 프로그래밍하고, AI가 기류흐름을 분석해 속도·강도를 제어하면서 생산라인 안정성을 극대화하는 것이 핵심이다.

AIP-JFS 안정성은 생산성 향상과도 직결된다. AI를 활용해 데이터 분석시간을 단축하고 기존보다 빠른 시간 내 습도를 제어하면서 시간과 비용을 크게 절감할 수 있다.

JFS 습도제어 최적화에 소요되는 기존 시간을 60% 이상 줄일 수 있어 생산 능력도 향상된다.

반도체 공정이 극도로 미세화하면서 습도제어를 통한 수율 향상이 이슈로 떠오른다.

JFS는 이러한 요구에 부응해 습도 제어를 위해 만든 원천 특허 기반 세계 최초 기류제어 제품이다. 반도체를 보관·이송하는 장치인 '풉(foup)' 내부습도를 최대 1% 이하로 제어, 습도문제를 해결하고 수율 향상을 돕는다.

우인근 저스템 연구소 이사는 "JFS가 AI 정밀제어시스템을 통해 성능을 더욱 극대화할 수 있게 됐다"며 "반도체 공정에서 습도제어 안정성이 나날이 중요시되는 만큼 한 차원 높은 기술력으로 글로벌 반도체 기업에 JFS를 공급할 것"이라고 말했다.

[e-mail] 강경래 기자