"장비에 인공지능 적용" 한미반도체, 'Ai 연구본부' 출범

한미반도체 Ai 연구본부 심볼. 한미반도체 제공

[파이낸셜뉴스] 한미반도체가 인공지능(AI) 반도체 장비 기술 개발을 마친 뒤 '6세대 고대역폭메모리(HBM4)' 장비인 'TC본더4'에 적용을 준비 중이다. 이와 함께 인공지능 반도체 장비 경쟁력을 강화하기 위해 'Ai 연구본부'를 신설했다.

18일 한미반도체에 따르면 2022년부터 소프트웨어 연구본부 내에서 인공지능 기술 개발을 추진해 왔으며, 이번에 이를 Ai 연구본부로 변경했다. 기존 인공지능 전문 인력과 우수 인재를 영입해 150여명으로 구축했다.

Ai 연구본부는 반도체 장비에 인공지능 기술을 융합해 공정 최적화와 예측 분석, 자동화를 통한 생산성 혁신을 담당한다.

인공지능 기술을 탑재한 반도체 장비는 사람의 도움 없이 복잡한 공정 설정부터 품질 검사까지 스스로 수행할 수 있다.

한미반도체는 인공지능 기술 개발에서 이미 구체적인 성과를 내고 있다. 2024년 인공지능 기반 장비 오토세팅 기술인 'FDS(FullSelf Device Setup)'를 특허 출원했다. FDS는 장비에 스트립과 트레이만 넣으면 사람의 도움 없이 '얼라인마크(Align Mark)' 인식부터 리포트 생성까지 자동으로 완성하는 기술이다.

기존에는 숙련된 엔지니어가 8시간에 걸쳐 수작업으로 장비를 세팅했다. 하지만 FDS를 도입하면 엔지니어 개입 없이 35분 만에 세팅을 완료해 생산성을 향상시킬 수 있다.

인공지능을 이용한 비전검사와 '옵셋(Offset)' 예측을 통해 장비 정밀도 역시 크게 발전시켰다. 옵셋은 반도체 제조 공정에서 목표 위치와 실제 위치 간 오차를 의미한다.

또한 회사는 인공지능 적용 범위를 전사 업무로 확대한다. 일례로 출장보고서 데이터를 인공지능에 학습시켜 장비 이력 분석과 문제점 진단을 지원하는 인공지능 어시스턴트를 구축할 예정이다. 이를 통해 현장 엔지니어 경험과 노하우를 체계적으로 축적하고 신속한 의사결정을 지원한다.

최근 한미반도체는 인공지능 기반 FDS와 비전검사 기술을 '마이크로쏘 앤 비전플레이스먼트 6.0 그리핀' 장비에 적용했다.

현재 TC본더4를 포함한 장비에도 적용을 준비 중이다. 한미반도체는 2.5차원(2.5D) 빅다이 TC본더, 빅다이 FC본더 등 향후 출시하는 모든 장비에 강화된 인공지능을 도입할 계획이다.

한미반도체 관계자는 "Ai 연구본부 설립을 통해 글로벌 시장에서 반도체 장비 경쟁력을 더욱 강화해 나갈 것"이라며 "지속적인 투자와 연구·개발에 최선을 다할 것"이라고 말했다.

[e-mail] 강경래 기자