빨라지는 中 반도체 자립… DUV 노광장비 자체생산
中 국영기업 올 5대 생산 목표
주요 반도체 기업에 납품 추진
ASML 등 글로벌 장비株 폭락
중국 국영기업이 반도체 제조용 심자외선(DUV) 노광장비 양산을 시작했다는 보도가 나오면서 글로벌 반도체 장비주가 일제히 급락했다.
27일(현지시간) 미국 언론은 "상하이에 본사를 둔 국영기업이 액침 DUV 노광장비 생산을 시작했으며, 위량성 등 다른 중국 기업에서 연구인력을 끌어모았다"고 보도했다. 업계에서는 위량성과 함께 신카이라이, 상하이웨이뎬쯔(SMEE), 화웨이, 칭화대 등이 기술개발에 참여한 것으로 봤다.
이 보도에 이날 ASML 주가는 8.4% 급락했다. △BE세미컨덕터(-9.9%) △램리서치(-7.9%) △ASM인터내셔널(-7.3%) △어플라이드머티어리얼즈(-6.7%) 등도 동반 하락했다. 미래에셋증권은 "중국이 자체 개발한 DUV 노광장비를 올해부터 중국 반도체 기업들에 납품한다는 소식이 부각되자 반도체주들이 큰 폭으로 하락했다"고 분석했다.
중국의 이 국영기업은 올해 DUV 장비 5대, 내년에는 20대 생산을 목표로 하고 있다. 중국 매체 신랑재경은 "올해 생산되는 장비가 화훙반도체와 중신궈지(SMIC), 그리고 최근 상장하면서 중국 시총 1위에 등극한 창신메모리테크놀로지(CXMT) 등 반도체 제조사에 인도될 예정"이라고 전했다.
ASML은 지난해에만 액침 DUV 장비 131대를 납품했는데, 이에 비하면 중국의 자체 생산 규모는 아직 미미한 수준이긴 하다. 게다가 중국산 DUV는 성능과 제조 품질 면에서 여전히 ASML 제품에 뒤처지며, 일부 부품은 일본산에 의존하는 것으로 전해졌다.
그럼에도 이번 보도는 미국의 대중국 수출통제에도 중국이 반도체 자립을 향해 진전을 보이고 있다는 신호로 풀이된다. ASML은 미국의 대중 제재로 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비는 물론 최상급 액침 DUV 장비도 중국에 판매하지 못하고 있었다. 중국에 공급되는 액침 DUV 장비는 최신 모델보다 8세대 뒤처진 제품일 정도였다. 그런데도 중국은 지난 2·4분기 ASML의 세 번째로 큰 시장이었다. 이처럼 타국 의존도가 높았던 상황에서 중국 국영기업의 DUV 양산 소식이 전해지면서 미국의 견제에도 중국의 홀로서기가 본격화됐다는 경계감이 나온다.
[email protected] 홍채완 기자
