삼성 반도체 제조 노하우, 공공나노팹에 푼다
과기정통부와 협약 후속 조치
전국 14개 공공연구시설 전수
나노기술원에는 연구장비 이전
삼성전자가 반도체 공장에서 축적한 제조·설비 관리 노하우를 전국 14개 공공 연구시설로 확대한다. 대학·연구기관과 중소 반도체 기업이 활용하는 공공팹의 운영 수준을 끌어올리고, 고가의 반도체 장비도 제공해 국내 반도체 연구개발 기반을 강화한다는 계획이다.
삼성전자는 11일 경기 수원 한국나노기술원에서 과학기술정보통신부와 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 중고장비 이전식을 열었다. 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍 등 반도체 3사가 체결한 업무협약의 후속 조치다.
삼성전자 반도체(DS)부문 상생협력센터는 지난 6월부터 한국나노기술원에 반도체 팹 운영 및 관리 노하우를 전달하는 컨설팅을 진행했다. 전문 컨설턴트들이 현장을 찾아 △현장관리 △설비가동 △설비운영 등 팹 운영 전반 개선 과제를 발굴했다. 소부장 협력사를 대상으로 진행해온 '소부장 눈높이 컨설팅'도 공공나노팹 특성에 맞게 적용한 것이다.
컨설팅 결과는 한국나노기술원의 장비별 표준작업절차서와 점검표, 교육·운영 기준 등에 반영됐다. 특히 삼성전자는 민간 양산시설에서 활용하던 현장점검 매뉴얼을 공공나노팹에 맞춰 처음 개발·적용했다. 기관이 팹 안전과 설비 상태를 스스로 상시 점검할 수 있도록 해 컨설팅 이후에도 개선된 운영 체계를 유지하도록 했다.
운영 노하우 전수와 함께 연구개발에 필요한 장비도 지원한다. 삼성전자는 과기정통부의 '모아팹 중고장비 활용 지원사업' 일환으로 한국나노기술원에 자동 패턴 박막 측정 장비를 이전했다. 8인치 반도체 웨이퍼의 박막 두께와 광학상수를 비파괴 방식으로 정밀 측정하는 장비다.
한국나노기술원은 새로 확보한 계측 역량을 기업·대학·연구소의 연구개발 지원에 활용하고, 전문인력 양성 프로그램과도 연계할 계획이다.
삼성전자는 이번 성과를 토대로 공공팹 지원 범위를 전국으로 넓힌다는 구상이다. 과기정통부, 국가 나노인프라 협의체와 함께 모아팹 소속 14개 기관에 컨설팅 우수사례를 확대 적용할 방침이다.
[email protected] 박지연 기자
