中, DUV 노광장비 생산 시작…네덜란드 ASML 주가 8%대 급락
[파이낸셜뉴스] 중국 국영기업이 반도체 제조용 심자외선(DUV) 노광장비 양산을 시작했다는 보도가 나오면서 네덜란드 ASML을 비롯한 글로벌 반도체 장비주가 일제히 급락했다.
27일(현지시간) 미국 언론은 IT매체 디인포메이션을 인용, "상하이에 본사를 둔 국영기업이 액침 DUV 노광장비 생산을 시작했으며, 반도체 장비 스타트업 위량성 등 다른 중국 기업에서 연구개발 인력을 끌어모았다"고 보도했다. 이 보도에 이날 ASML 주가가 8.4% 급락했다. △ASM인터내셔널(-7.3%) △BE세미컨덕터(-9.9%) △어플라이드머티어리얼즈(-6.7%) △램리서치(-7.9%) 등 유럽·미국 반도체 장비주도 동반 하락했다.
디인포메이션에 따르면, 이 국영기업은 올해 DUV 장비 5대, 내년에는 20대 생산을 목표로 하고 있으며, 아직 초기 단계다. 중국 매체 신랑재경은 "올해 생산되는 장비가 △중신궈지(SMIC) △화훙반도체 △창신메모리(CXMT) 등 중국 반도체 제조사에 인도될 예정"이라고 전했다.
ASML은 지난해에만 액침 DUV 장비 131대를 납품한 만큼, 이에 비하면 중국의 자체 생산 규모는 아직 미미한 수준이다. 게다가 중국산 DUV는 성능과 제조 품질 면에서 여전히 ASML 제품에 뒤처지며, 일부 핵심 부품은 일본산에 의존하고 있는 것으로 전해졌다.
그럼에도 이번 보도는 미국의 대(對)중 수출 통제에도 중국이 반도체 자립을 향해 진전을 보이고 있다는 신호로 풀이된다. ASML은 미국의 수출 통제로 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 대중 수출이 금지돼있고, 최상급 액침 DUV 장비 판매도 제한돼 중국에 공급하는 장비는 최신 모델보다 8세대 뒤처진 제품이다. 그럼에도 불구하고 중국은 지난 2·4분기 ASML의 세 번째로 큰 시장이었다.
[email protected] 홍채완 기자
