'삼전닉스 추격' 中, DUV 노광장비 양산 개시…반도체 자립 '가속'

美 수출 규제 속 첨단 장비 자체 생산 기반 마련
메모리 상장 이어 노광장비 국산화 이어가는 中

[파이낸셜뉴스] 중국이 자체 개발한 반도체 제조용 심자외선(DUV) 노광장비를 본격 양산하기 시작했다. 미국의 대중 반도체 장비 수출 규제로 최첨단 극자외선(EUV) 노광 장비 확보가 사실상 막히면서, 자체적으로 노광장비 생산 체계 구축에 나선 것이다. 중국 메모리사 창신메모리테크놀로지(CXMT)의 급성장에 이어 핵심 반도체 장비까지 자급에 나서는 등 중국의 '반도체 굴기'가 속도를 높이고 있다. 중국의 반도체 추격전에 국내 반도체 업계도 예의주시하는 모습이다.

28일 미국 정보기술(IT) 전문 매체인 더인포메이션 등 외신에 따르면 상하이에 본사를 둔 한 국유 기업이 자체 개발한 침지 방식 DUV 노광장비 생산에 들어간 것으로 나타났다. 장비를 개발한 국영 지원 기업의 이름은 공개되지 않았지만, 해당 장비는 올해 중국 최대 파운드리(반도체 위탁생산)인 SMIC, 화훙반도체, D램 업체 CXMT 등 주요 반도체 기업에 공급될 예정인 것으로 전해졌다.

노광장비는 실리콘 웨이퍼 위에 반도체 회로를 새기는 핵심 제조 장비다. 이번에 중국 기업이 생산에 들어간 침지 방식 DUV 노광장비는 미국의 수출 규제로 EUV 노광장비를 확보하지 못한 중국 업체들이 활용할 수 있는 최고 수준의 노광 기술로 파악된다. 현재 반도체 장비 업계 1위인 네덜란드 ASML은 미국 주도의 대중 반도체 수출 통제로 EUV 노광장비는 물론 최상급 DUV 장비도 중국에 판매하지 못하고 있다. 현재 중국에 공급되는 장비 역시 최신 모델보다 약 8세대 뒤처진 제품인 것으로 전해졌다.

물론 중국산 DUV 장비가 단기간에 ASML과의 기술 격차를 좁히기는 쉽지 않을 전망이다. 성능과 생산성, 수율(양품비율) 등에서는 글로벌 선두 업체와 여전히 상당한 격차가 있기 때문이다. 그럼에도 규제 속에서 핵심 반도체 장비를 자체 조달할 수 있는 기반을 마련했다는 점에서 중국 반도체 공급망의 자립도를 높이는 계기가 될 수 있다는 분석이 따른다.

국내 반도체 업계는 아직 중국 자체 장비의 구체적인 성능과 수율 등 검증이 필요한 만큼 신중하게 지켜봐야 한다는 입장이다. 업계 관계자 "실제 성능과 구체적인 스펙이 확인돼야 기술 수준을 정확히 평가할 수 있을 것"이라면서도 "그동안엔 없던 노광장비를 자체 개발해 생산 단계까지 끌어올렸다고 보면 의미가 있을 것"이라고 말했다.
한편, 최근 중국 반도체 산업 전반에서 기술 자립 움직임이 빨라지고 있다. CXMT는 최근 커촹반 상장을 통해 최대 14조원 대의 자금을 조달했고, 생산라인 고도화와 차세대 D램 연구개발(R&D)에 나설 방침이다. 시장조사업체 옴디아에 따르면 올해 1·4분기 CXMT의 D램 시장점유율은 전 분기 4.7%에서 7.6%로 뛰었다.

[email protected] 임수빈 기자