부산 '부니콘 기업' 뉴라이즌, 반도체 클린룸용 나노필터 연구 성과

세계적 수준 국제학술지에 관련 연구 논문 게재

[파이낸셜뉴스] 부산지역 대표 기술창업기업인 '부니콘'에 선정된 뉴라이즌이 최근 반도체 클린룸용 나노섬유 필터 연구를 성공적으로 마치고 높은 성능을 확인했다고 20일 밝혔다.

뉴라이즌은 이승욱 대표가 1저자, 이정현 기술이사가 2저자로 참여한 '반도체 클린룸용 나노섬유 필터' 연구 논문을 저명 국제학술지 '폴리머스(Polymers)'에 게재했다. 폴리머스는 과학기술 논문 인용색인(SCIE)에 등재된 저널인용보고서(JCR) 고분자과학 분야 Q1 등급(상위 25%) 학술지로, 최근 피인용지수는 5.8이다.

반도체와 이차전지와 같은 첨단 제조산업은 공정이 미세화 할수록, 클린룸 내 나노미터급 입자 관리가 제품 수율을 좌우하는 핵심이 된다. 클린룸 공조 과정에서 생기는 막대한 에너지 사용량을 줄이는 것 또한 산업계의 주요 과제로 꼽히고 있다.

특히 지난 2022년 강화된 국제표준 'ISO 29463-5'는 필터의 정전기를 제거한 방전 상태에서 측정한 여과 효율을 등급판정 기준으로 적용하고 있다. 방전 이후에도 안정적인 성능을 유지할 수 있는 필터 기술의 중요성이 높아지고 있다는 것이다.

이에 뉴라이즌 연구진은 '정전 섬유층과 나노 섬유층을 초음파 접합 방식으로 결합한 하이브리드 다층 필터' 개발에 착수해 성공적으로 마쳤다. 이는 물리 모델에 기반한 설계 기법을 활용해 필터 구조를 최적화했다.

개발된 필터는 부산대학교 건축공학과 안영철 교수 연구팀과 산학 협력을 통해 ISO 29463-5 기준 방전 시험을 거쳤다. 그 결과 방전 이후에도 높은 여과 효율을 유지한 것으로 나타났다.
아울러 기존 멜트블로운 필터의 여과효율인 41.4%를 크게 상회했으며 여과 효율과 압력 손실을 종합 평가하는 품질계수에서도 상용 유리섬유 필터 대비 4배 이상의 성능을 기록했다. 연구진은 스케일링 분석을 통해 약 52%의 공기정화장치(FFU) 전력 절감 잠재력을 제시했으며 향후 반도체 등 첨단 제조업의 탄소중립 대응에도 활용 가능성이 있을 것으로 밝혔다.

이 대표는 "이번 성과는 강화하는 국제표준에 대응해 고도화된 시뮬레이션 기술과 나노 섬유 기술을 접하고 이를 실제 성능으로 검증했다는 데 의미가 있다"며 "외산 소재 의존도가 높은 클린룸 필터 시장에서 국내 기업이 설계 원천기술을 확보하고 첨단 제조업이 요구하는 청정도와 에너지 효율을 동시에 충족하는 필터 기술 경쟁력을 확보하겠다"고 포부를 전했다.

[email protected] 변옥환 기자